电视面板激光修复检测装置问世 （2005-09-23）

日本Laserfront Technologies公司开发成功了电视液晶面板亮点和黑点缺陷修复率接近100％的激光修复检测装置。在此前的显示器面板生产中，在TFT阵列工序的最后要进行检测和修复，但存在的问题是玻璃底板上形成的下面一层检测困难，修复率一直比较低。 此次在集成检测装置和修复装置的同时还实现了在线嵌入设计，由此就能够在TFT阵列工序中的栅极工序、源漏极工序和保护膜形成工序中，导入检测修复装置工序。这样，最先形成的层也可实现轻松检测，并提高修复率。而且，与原来相比，还提高了吞吐量。所有这些是通过将手动改为自动，并分别将定位、自动对焦和调节等的速度减小到原来一半来实现的。