我国首台自主知识产权硅传感器在沈问世 （2005-12-22）

日前，我国首台具有自主知识产权的硅电容传感器在沈阳问世。由沈阳仪表科学研究院研制的硅电容传感器及硅复合传感器将大规模投入生产。两种产品及相关技术填补了国内该项目空白，将改变我国企业一直靠进口硅电容传感器的历史。